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JJF 1613-2017 掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准的测量不确定度评定
概述
    仪器膜厚测量示值误差是用薄膜厚度标准物质进行校准的。设定好相关的测量程序和条件,并按要求进行必要的仪器预校准后,选择符合要求的具有明确材料和厚度的膜厚标准物质,按照6.2中的测量方法测量认定值为ts。的膜厚标准物质,仪器的测量示值t与膜厚标准物质的认定值ts。进行比较,计算仪器的示值误差Δt
1、测量模型
    仪器膜厚测量示值误差的测量模型为:

Δt=tts

(1)
    式中:
     Δt—示值误差,nm
     t—膜厚测量结果,nm;
     ts—膜厚标准物质对应的认定值,nm
2、不确定度来源与分析
2.1 仪器测量重复性引入的不确定度分量u1
仪器测量重复性引入的不确定度分量可以通过5次重复测量得到,测量重复性引入的不确定度用极差法评定。 对标称厚度为 nm 的膜厚标物进行5次重复测量如表1所示:

表1:测量数据列

序号 1 2 3 4 5
测得值nm
平均值¯t
实验标准偏差s
不确定度分量u1
2.2膜厚标准物质引入的不确定度分量u2
膜厚标准物质引入的不确定度主要来源于膜厚标准物质的厚度测量结果不确定度,可根据相关技术资料或校准证书给出的扩展不确定度来计算。 标称厚度为nm的膜厚标物, U(t)= nm , k= ,则引入的标准不确定度为:
u2=nm
3、不确定度分量表

表2:标准不确定度分量表

不确定度来源 标准不确定度ui nm 灵敏度系数|ci| ciui nm
测量重复性 u1 |c1|
膜厚标准物质 u2 |c2|  

4、合成标准不确定度

5、扩展不确定度

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