概述 |
仪器膜厚测量示值误差是用薄膜厚度标准物质进行校准的。设定好相关的测量程序和条件,并按要求进行必要的仪器预校准后,选择符合要求的具有明确材料和厚度的膜厚标准物质,按照6.2中的测量方法测量认定值为ts。的膜厚标准物质,仪器的测量示值t与膜厚标准物质的认定值ts。进行比较,计算仪器的示值误差Δt。 |
1、测量模型 |
2、不确定度来源与分析 |
2.1 仪器测量重复性引入的不确定度分量u1 |
仪器测量重复性引入的不确定度分量可以通过5次重复测量得到,测量重复性引入的不确定度用极差法评定。 对标称厚度为 nm 的膜厚标物进行5次重复测量如表1所示: |
表1:测量数据列
序号 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | |||||
测得值nm | ||||||||||
平均值¯t | ||||||||||
实验标准偏差s | ||||||||||
不确定度分量u1 |
2.2膜厚标准物质引入的不确定度分量u2 |
3、不确定度分量表 |
表2:标准不确定度分量表
不确定度来源 | 标准不确定度ui nm | 灵敏度系数|ci| | ci⋅ui nm | |||||
测量重复性 | u1 | |c1| | ||||||
膜厚标准物质 | u2 | |c2| |
4、合成标准不确定度 |
5、扩展不确定度 |