| 1、测量模型 |
| 本次校准的示值误差模型为: |
|
$$\delta =h-H$$ | (1) |
| 式中: |
| $\delta $——示值误差，$\mu m$； |
| $h$——仪器示值，$\mu m$； |
| $H$——标准厚度片的标准厚度值，$\mu m$。 |
| 2、不确定度来源与分析 |
| 2.1仪器示值引入的标准不确定度分量$u(h)$ |
| 2.1.1电解式（库伦）测厚仪的测量重复性引入的标准不确定度分量$u_{11}$ |
| 电解式（库伦）测厚仪的测量重复性引入的不确定度分量可以通过10次重复测量得到，对标称厚度为$\mu m$的标准厚度片进行10次重复测量试验，测得一组数据（实际测量时采用3次重复测量结果的平均值），分别为： |
表1测量数据列
| 2.1.2电解式（库伦）测厚仪的测量分辨力引入的标准不确定度分量$u_{12}$ |
| 电解式（库伦）测厚仪的的厚度读数显示分辨力为$\mu m$ ，按均匀分布处理，则有 |
| $u_{12}=$$mm$ |
| 取$u_{11}$和$u_{12}$中较大者，作为仪器示值引入的标准不确定度，所以有： |
| $u_{1}=$$\mu m$ |
| 2.2标准厚度片引入的标准不确定度分量$u(2)$ |
| 标准厚度片引入的不确定度主要来源于标准厚度片标准厚度值测量结果的不确定度，可根据相关技术资料或者校准证书给出的扩展不确定度来计算。 从已有资料可知，标准厚度片标准厚度值测量结果的此昂对扩展不确定度为 ，按近似服从正态分布考虑，其包含因子$k=2$，则有： |
| $u_{2}=$$\mu m$ |
| 3、不确定度分量表 |
表2：标准不确定度分量表
| 不确定度来源 | 标准不确定度$$u_{i}$$ | 灵敏度系数$$\left |c_{i} \right |$$ | $$c_{i} \cdot u_{i}/\mu m$$ | ||
| 仪器示值 | $u_{1}$ | $\left |c_{1} \right |$ | |||
| 标准厚度片 | $u_{2}$ | $\left |c_{2} \right |$ | |||
| 4、合成标准不确定度 |
| 5、扩展不确定度 |